项目概况 半导体设备厂商，晶圆湿法清洗槽配套加热单元，清洗介质为弱腐蚀清洗剂，设备内部安装空间紧凑，属于精密恒温工况，要求升温均匀、绝缘稳定、洁净无析出。

原有痛点

1. 进口加热元件交期长、单价高，售后补货周期久；
2. 普通不锈钢加热管在清洗药剂环境下，缓慢腐蚀，绝缘逐步下降；
3. 标准规格加热棒尺寸不匹配设备安装孔位，改工装成本高；
4. 清洗工艺对温度波动敏感，温差大影响晶圆清洗良率。

HPPLE 解决方案 定制小型 316L 洁净单头加热管，管壁做精细抛光处理；优化填充绝缘配方，提升高湿药剂环境下绝缘稳定性；按设备狭小安装尺寸定制管径、长度与出线方式，匹配原有温控系统，实现进口替代。

落地效果

✅ 尺寸完美适配原有工装，无需修改设备结构；

✅ 耐清洗药剂腐蚀，长期使用绝缘衰减缓慢；

✅ 温度波动控制在 ±0.8℃以内，保障晶圆清洗良率；

✅ 交付周期短，备件采购成本下降。